近日，由国仪量子（合肥）技术有限公司牵头、安徽省计量科学研究院参与的“120kV 热场发射电子枪”项目，获批2022年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项。

热场发射电子枪具有束流较大、发射稳定、亮度高、能散小等优点，是透射电子显微镜、电子束光刻机、X射线衍射仪等高端电子束仪器的关键核心部件之一。本项目旨在解决上述重大仪器设备缺少国内配套核心关键部件的问题，并推进工程化与产业化。